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半導(dǎo)體潔凈室溫濕度監(jiān)測的重要性

更新時間:2022-08-18      點擊次數(shù):1573

潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)都需要進行控制的密閉性空間。許多精密加工行業(yè)、半導(dǎo)體、芯片、醫(yī)學(xué)手術(shù)室、電子設(shè)備、航天、制藥、生物實驗室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫(yī)學(xué)行業(yè)主要是為了防止病菌、細菌、灰塵對病人手術(shù)過程中造成感染;溫濕度對于精密儀器儀表產(chǎn)品的精確程度有很大影響。

        半導(dǎo)體在芯片、集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)等中都有應(yīng)用,

        半導(dǎo)體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ,濕度在30-50 RH(%)之間。潔凈室運作過程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見。因為相對濕度會對潔凈室總體表現(xiàn)下降有較大影響,比如加速細菌繁殖;人體舒適感不佳,人體汗液可能污染半導(dǎo)體產(chǎn)品;出現(xiàn)靜電荷;加快金屬腐蝕生銹;水汽冷凝污染半導(dǎo)體表面的清潔度;光刻的退化;影響光刻膠附著能力等。

         因此,對于半導(dǎo)體潔凈室的溫濕度控制尤為重要。現(xiàn)在的半導(dǎo)體潔凈室系統(tǒng)都會嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓力程度等,在室內(nèi)安裝不同的溫濕度傳感器、壓力傳感器等,做到實時監(jiān)測、實時控制。恒歌也有多款溫濕度變送器傳感器、溫濕度儀表、溫濕度記錄儀等產(chǎn)品應(yīng)用于各種高精尖行業(yè)、生物實驗室、制藥車間、潔凈室的溫濕度監(jiān)測。

 恒歌-溫濕度變送器DSC_3636

        運用各種傳感器來對溫濕度數(shù)據(jù)進行實時監(jiān)控,但是偶爾傳感器用久了,也會發(fā)生漂移現(xiàn)象。因此傳感器是需要定期校準的。恒歌溫濕度校準儀表具有操作方便、便攜、多功能、高精度、多種測量/數(shù)據(jù)輸出模式等優(yōu)點,成為工業(yè)現(xiàn)場、實驗室、儀表制造常用的計量校準工具。

 手持溫濕度探頭-DSC_0793-1

 

        不同的潔凈室對于溫濕度的要求是不同的,主要是根據(jù)加工使用的產(chǎn)品本身的特性來考量。但是有一點是可以肯定的,溫濕度不管在任何行業(yè),作為一個環(huán)境因素發(fā)揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進行溫濕度數(shù)據(jù)監(jiān)控,以便達到我們的理想狀態(tài)。


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