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擴(kuò)散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片?？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬限流過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。

墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。

墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。

墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。

通過防止與污染相關(guān)的泄漏，延長設(shè)備使用壽命并降低維護(hù)成本。該過濾器提供低壓和高壓兩種型號，可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中，為保護(hù)精密設(shè)備免受污染提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案